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行業資訊


TC4鈦合金鍛件初始殘余應力與銑削殘余應力耦合機制:退火預處理對粗精加工表面應力狀態及累積效應的影響

TC4鈦合金鍛件初始殘余應力與銑削殘余應力耦合機制:退火預處理對粗精加工表面應力狀態及累積效應的影響

2026-07-31   瀏覽次數:12

引言鈦合金構件在銑削過程中會產生較大的殘余應力,殘余應力的分布受多因素作用,尤其是構件的初始狀態和銑削參數會對銑削殘余應力的大小產生重要影響。初始殘余應力的存在不僅...
面向增材制造穩定性的鈦合金激光熔覆多因素協同:粉斑直徑-熔池溫度-馬蘭戈尼對流對粉末捕獲與熔化沉積的定量關聯

面向增材制造穩定性的鈦合金激光熔覆多因素協同:粉斑直徑-熔池溫度-馬蘭戈尼對流對粉末捕獲與熔化沉積的定量關聯

2026-07-25   瀏覽次數:36

鈦合金依靠其優異的比強度與耐腐蝕性,廣泛應用于航空發動機葉片、飛機框架等關鍵部件[1],而激光熔覆技術作為增材制造領域的重要技術分支,能通過高能量密度激光,實現金屬粉末的...
先進熱處理技術改善金屬材料服役性能:鋼鐵-鋁合金-鈦合金-鎳基合金多體系相變動力學與智能工藝路徑

先進熱處理技術改善金屬材料服役性能:鋼鐵-鋁合金-鈦合金-鎳基合金多體系相變動力學與智能工藝路徑

2026-07-20   瀏覽次數:36

隨著先進制造業的快速發展及極端服役條件的日益普遍,金屬材料綜合性能需求持續攀升,例如,強度需超過1500MPa、耐蝕性提升50%或在900℃高溫下穩定工作1000h。熱處理作為材料性能...
面向新一代半導體顯示技術的多元鉬合金靶材反向設計策略:基于多靶磁控濺射薄膜成分-微觀組織-性能映射關系的薄膜設計-靶材推導短周期開發路徑構建

面向新一代半導體顯示技術的多元鉬合金靶材反向設計策略:基于多靶磁控濺射薄膜成分-微觀組織-性能映射關系的薄膜設計-靶材推導短周期開發路徑構建

2026-07-15   瀏覽次數:25

引言鉬及鉬合金因其熔點高、導電導熱性好、熱膨脹系數低、耐腐蝕性能佳及環境友好等特性[1-5],被廣泛應用于電子電器、太陽能電池及玻璃鍍膜等領域[6-11]。然而,新一代半導體...
從力學性能優先到綜合性能協同:原位(TiB+TiC)/TC4鈦基復合材料熱處理工藝設計的范式轉變——基于組織形態對強度、塑性及耐蝕性三維性能空間的映射關系

從力學性能優先到綜合性能協同:原位(TiB+TiC)/TC4鈦基復合材料熱處理工藝設計的范式轉變——基于組織形態對強度、塑性及耐蝕性三維性能空間的映射關系

2026-07-10   瀏覽次數:43

鈦基復合材料兼具高比強度、優異的耐腐蝕性及良好的高溫服役性能,在航空航天、海洋工程、生物醫學等高端裝備領域展現出廣闊的應用前景[1-3]。(TiB+TiC)/TC4 鈦基復合材料作...
面向深海裝備厚壁鑄造TC4構件焊接修補的氧含量精準調控策略:從焊絲成分設計到焊縫組織-性能匹配的

面向深海裝備厚壁鑄造TC4構件焊接修補的氧含量精準調控策略:從焊絲成分設計到焊縫組織-性能匹配的"強度-韌性"協同優化路徑探索

2026-07-04   瀏覽次數:50

引言鈦合金因比強度高、抗沖擊性能優異、耐海水腐蝕、高低溫力學性能穩定且無磁性,是深海裝備的理想材料,素有"海洋金屬"之稱。在深海耐壓結構領域,采用鑄造TC4(Ti-6Al-4V)可有...
銅及銅合金增材制造:從紅外激光反射困局到多能場協同調控的工藝革命與材料基因工程化路徑探索

銅及銅合金增材制造:從紅外激光反射困局到多能場協同調控的工藝革命與材料基因工程化路徑探索

2026-06-29   瀏覽次數:55

銅及銅合金憑借優異的力學與熱學性能,在諸多領域得到廣泛應用:在電氣領域,它是核心導電材料;在航空航天領域,可用于導熱及承載的關鍵部件;近年來,隨著人工智能產業對芯片散熱需...
面向半導體航空新能源汽車等戰略產業的真空電弧離子鍍復合鍍膜技術:多工藝協同沉積、梯度與納米結構鍍層設計及界面機制

面向半導體航空新能源汽車等戰略產業的真空電弧離子鍍復合鍍膜技術:多工藝協同沉積、梯度與納米結構鍍層設計及界面機制

2026-06-23   瀏覽次數:104

真空電弧離子鍍又叫多弧離子鍍,是在真空蒸鍍和真空濺射基礎上發展起來、最新、最先進的表面工程技術之一[1]。其基本原理[2]是將鍍膜材料制作為陰極靶,冷場致弧光放電在靶面產...
國產高端顯示用濺射靶材原料工藝優化研究:解決粗細鈦粉混料分層與成分偏聚痛點,探究鈦粉粒徑對熱等靜壓燒結鉬鈦靶材物理力學性能、微觀組織一致性及后端濺射薄膜電學與表面質量的影響

國產高端顯示用濺射靶材原料工藝優化研究:解決粗細鈦粉混料分層與成分偏聚痛點,探究鈦粉粒徑對熱等靜壓燒結鉬鈦靶材物理力學性能、微觀組織一致性及后端濺射薄膜電學與表面質量的影響

2026-06-17   瀏覽次數:74

引言靶材作為磁控濺射工藝的核心原材料,是制備半導體器件、顯示面板、太陽能電池等電子器件功能性薄膜的關鍵基礎材料,其性能直接決定了材料薄膜的質量和最終器件的性能。在平...
面向航空用激光熔覆TC4鈦合金高效切削加工:四類關鍵銑削參數對主切削力的影響規律及適配性銑削工藝參數優選試驗研究

面向航空用激光熔覆TC4鈦合金高效切削加工:四類關鍵銑削參數對主切削力的影響規律及適配性銑削工藝參數優選試驗研究

2026-06-11   瀏覽次數:70

Ti-6Al-4V(TC4)屬于一種高比強度、優異韌性以及耐高溫環境的合金,被廣泛應用于各種核心工業領域,如航空航天、醫療設備、交通運輸、精密測量設備等,為這些領域的技術進步提供了...
固溶時效熱處理消除鍛造微孔缺陷的作用機制及 (TiB+TiC)/TC4 鈦基復合材料強韌化研究:基于基體組織重構與相界面演變的性能調控技術

固溶時效熱處理消除鍛造微孔缺陷的作用機制及 (TiB+TiC)/TC4 鈦基復合材料強韌化研究:基于基體組織重構與相界面演變的性能調控技術

2026-06-05   瀏覽次數:77

鈦基復合材料兼具高比強度、優異的耐腐蝕性及良好的高溫服役性能,在航空航天、海洋工程、生物醫學等高端裝備領域展現出廣闊的應用前景 [1?3]。(TiB+TiC)/TC4鈦基復合材料...
冷軋預處理工業純鈦在500℃退火工藝中保溫時長差異化作用下的組織轉變全過程分析:孿晶退化位錯演化亞晶結構轉變晶界特征演變與施密特因子分布及力學性能聯動變化規律研究

冷軋預處理工業純鈦在500℃退火工藝中保溫時長差異化作用下的組織轉變全過程分析:孿晶退化位錯演化亞晶結構轉變晶界特征演變與施密特因子分布及力學性能聯動變化規律研究

2026-05-31   瀏覽次數:113

鈦合金是以鈦為基體,通過添加Al、V、Mo等合金元素形成的輕質高強度金屬,具有卓越的比強度、耐高溫和耐腐蝕等眾多特性[1-2]。鈦合金兼具無磁性和抗疲勞性能,因此在航空航天領...
面向精密銑削的鈦合金多位置毛刺缺陷演化規律及工藝優化依據研究,通過仿真手段還原銑削全過程材料變形與切屑流動行為,為鈦合金精密加工的毛刺抑制與表面質量提升提供理論支撐

面向精密銑削的鈦合金多位置毛刺缺陷演化規律及工藝優化依據研究,通過仿真手段還原銑削全過程材料變形與切屑流動行為,為鈦合金精密加工的毛刺抑制與表面質量提升提供理論支撐

2026-05-26   瀏覽次數:104

銑削加工與車削存在本質差異。車削加工過程中,切削厚度基本保持恒定,而銑削由于刀具同時進行旋轉與進給運動,切削厚度呈動態變化。以二刃銑刀為例,刀具每旋轉一圈,兩個刀刃分別完...
面向航空航天生物醫療與3C電子高端應用的易切削鈦合金研發進展,針對鈦合金難切削加工成本高精密成型性差等行業痛點,梳理多元合金化與可逆熱氫處理技術的改性優勢,總結現有技術瓶頸并提出兼顧加工性能

面向航空航天生物醫療與3C電子高端應用的易切削鈦合金研發進展,針對鈦合金難切削加工成本高精密成型性差等行業痛點,梳理多元合金化與可逆熱氫處理技術的改性優勢,總結現有技術瓶頸并提出兼顧加工性能

2026-05-21   瀏覽次數:121

鈦及鈦合金作為一種銀灰色的輕質金屬材料,以其高比強度、優異的耐腐蝕性、良好的高溫性能以及出色的生物相容性與安全性,在航空航天、生物醫療、化工裝備、汽車制造與海洋工程...
鈦合金表面WC耐磨涂層激光制備技術性能表征及界面行為研究綜述,重點梳理激光熔覆重熔原位輔助噴涂工藝-組織-性能關系,總結硬度結合力磨損率提升機制及現存問題與解決方案

鈦合金表面WC耐磨涂層激光制備技術性能表征及界面行為研究綜述,重點梳理激光熔覆重熔原位輔助噴涂工藝-組織-性能關系,總結硬度結合力磨損率提升機制及現存問題與解決方案

2026-05-17   瀏覽次數:150

引言鈦合金比強度高、耐腐蝕性優良,在航空航天和特種裝甲等高端武器裝備制造領域已成為不可或缺的輕質高強結構材料(鈦用量:航空器15%~40%,航天器5%~30%,艦船超過千噸,坦克和...
面向航空高精度管材制備的冷變形-退火熱處理聯動工藝調控TC4鈦合金微觀缺陷及綜合力學性能優化研究

面向航空高精度管材制備的冷變形-退火熱處理聯動工藝調控TC4鈦合金微觀缺陷及綜合力學性能優化研究

2026-05-13   瀏覽次數:139

TC4鈦合金的名義成分為Ti-6Al-4V,是1954年由美國研制的一種α+β型雙相鈦合金,兼具α型及β型鈦合金的優點,具有高強度、耐腐蝕、耐高溫、抗氧化等特點,是全球應用最為廣泛的鈦合...
多場耦合條件下工業有機熱載體爐管材淬硬 - 軟化非對稱硬度梯度形成機理及熱疲勞裂紋定向擴展規律研究

多場耦合條件下工業有機熱載體爐管材淬硬 - 軟化非對稱硬度梯度形成機理及熱疲勞裂紋定向擴展規律研究

2026-05-08   瀏覽次數:106

引言有機熱載體爐以低壓高溫、節能高效等顯著優勢,廣泛應用于化工、紡織、制藥、建材等工業領域,是現代工業重要的間接供熱設備。通過實施煙氣余熱回收等節能措施,其系統熱效率...
航空用TC4鈦合金微小結構綠色加工技術探究——射流電解質等離子體材料去除機制與掃描加工形貌調控規律

航空用TC4鈦合金微小結構綠色加工技術探究——射流電解質等離子體材料去除機制與掃描加工形貌調控規律

2026-05-02   瀏覽次數:126

1.引言隨著先進制造技術的發展,微小金屬零件在航空航天、醫療器械等領域的應用日益廣泛,如心血管支架、航空發動機葉片氣膜冷卻孔等[1-3]。這類應用不僅要求零件具備優異的耐...
基于超聲波無損探傷與多手段理化檢測聯合表征下航空用大規格TC4鈦合金環形鍛件內部非金屬夾雜類冶金缺陷溯源探究、組織性能演變規律剖析及真空自耗熔煉全流程工藝優化防控策略研究

基于超聲波無損探傷與多手段理化檢測聯合表征下航空用大規格TC4鈦合金環形鍛件內部非金屬夾雜類冶金缺陷溯源探究、組織性能演變規律剖析及真空自耗熔煉全流程工藝優化防控策略研究

2026-04-27   瀏覽次數:130

TC4鈦合金是目前世界上使用量最大、用途最廣的兩相鈦合金,由密排六方結構的 α 相和體心立方結構的 β 相構成[1],具有比強度高、耐蝕性好、抗疲勞和抗裂紋擴展能力強等優異...
不同熱處理制度對鈦鋁合金顯微組織及高溫力學性能的影響研究——聚焦汽車發動機渦輪葉片實際服役工況,對比三種退火溫度下合金的高溫強度保持率塑性變形能力,解決合金高溫下晶粒粗化強度衰減問題

不同熱處理制度對鈦鋁合金顯微組織及高溫力學性能的影響研究——聚焦汽車發動機渦輪葉片實際服役工況,對比三種退火溫度下合金的高溫強度保持率塑性變形能力,解決合金高溫下晶粒粗化強度衰減問題

2026-04-20   瀏覽次數:94

隨著汽車行業向輕量化與節能化方向轉型,發動機性能的提升成為關鍵突破口。渦輪增壓技術通過顯著提高發動機功率密度,是提升發動機性能的有效手段之一。作為該技術的核心部件,渦...
面向超大規模集成電路與先進平板顯示產業的高純銅濺射靶材全鏈條制備技術綜述:從超高純原料電解精煉與真空熔煉提純動力學機制、多道次熱機械加工與等通道側向擠壓晶粒細化工藝

面向超大規模集成電路與先進平板顯示產業的高純銅濺射靶材全鏈條制備技術綜述:從超高純原料電解精煉與真空熔煉提純動力學機制、多道次熱機械加工與等通道側向擠壓晶粒細化工藝

2026-04-14   瀏覽次數:197

1引言濺射屬于一種物理氣相沉積(PVD)技術,是制備薄膜材料的關鍵技術之一,其工作原理是基于真空環境中離子源產生的高速離子束流轟擊濺射靶材表面后,高速離子束中離子與靶材表面...
突破傳統冶金經驗試錯局限的TC11鈦合金顯微組織-室溫拉伸性能定量映射關系建模及深層變形機理解析:系統量化表征等軸α相在塑性變形中的協調機制與片層α相在位錯運動路徑中的阻礙效應及其非線性交互作用

突破傳統冶金經驗試錯局限的TC11鈦合金顯微組織-室溫拉伸性能定量映射關系建模及深層變形機理解析:系統量化表征等軸α相在塑性變形中的協調機制與片層α相在位錯運動路徑中的阻礙效應及其非線性交互作用

2026-04-07   瀏覽次數:141

氧化銦錫(ITO)薄膜因其優異的光學、電學及機械性能,被廣泛應用于有機發光二極管面板、光伏電池及半導體集成電路等領域,已成為現代光電產業中不可或缺的功能材料之一[1-5]。目...
鈦合金無縫管制備工藝優化與研究現狀綜述——基于各工藝核心參數調控,探討表面質量、尺寸精度及力學性能的提升路徑

鈦合金無縫管制備工藝優化與研究現狀綜述——基于各工藝核心參數調控,探討表面質量、尺寸精度及力學性能的提升路徑

2026-03-29   瀏覽次數:198

1、引言鈦合金具有密度小、比強度高、耐腐蝕、焊接性能優良等特點,廣泛應用于石油化工、航空航天、生物醫療、海洋工程等領域1-3。目前,我國鈦及鈦合金年產量已突破10萬噸,其中...
政策賦能與技術迭代雙驅動:我國高純銅產業現狀、市場需求及發展預測——從生產工藝突破、應用領域拓展到國產化替代,全方位剖析高純銅(含靶材)產業發展潛力與挑戰

政策賦能與技術迭代雙驅動:我國高純銅產業現狀、市場需求及發展預測——從生產工藝突破、應用領域拓展到國產化替代,全方位剖析高純銅(含靶材)產業發展潛力與挑戰

2026-03-21   瀏覽次數:227

1、高純銅的現狀1.1高純銅的定義及應用根據國標高純銅GB/T20617-2020的定義,高純銅是指銅含量在5N、6N及更高純度的銅金屬。高純銅按銅含量可分為四個牌號:HPCu-7N、HPCu-6N5...
集成電路高純鉭濺射靶材制備工藝、國內外產業格局及國產化發展展望

集成電路高純鉭濺射靶材制備工藝、國內外產業格局及國產化發展展望

2026-03-13   瀏覽次數:195

近年來,隨著電子信息產業的快速發展,集成電路用濺射靶材也得到了較大發展。用于制造半導體芯片的金屬靶材中,常見的濺射靶材有Ta、Ti、Al、Co和Cu等有色金屬。其中集成電路制造...
面向復雜道面服役工況的TC4鈦合金表面高硬度無裂紋涂層制備:基于原位合成多元強化相的激光熔覆工藝優化及耐磨防護性能評價

面向復雜道面服役工況的TC4鈦合金表面高硬度無裂紋涂層制備:基于原位合成多元強化相的激光熔覆工藝優化及耐磨防護性能評價

2026-03-05   瀏覽次數:192

引言為滿足特種車輛輕量化需求,其傳動鏈采用TC4鈦合金制造,鈦合金雖然有優良的力學性能,但其硬度低且不耐磨損[1],不能適應服役環境下,復雜道面的耐磨損需求。工程上為利用鈦合金...
TC4鈦合金M4小孔徑內螺紋攻絲量產瓶頸突破與全流程工藝優化研究——基于絲錐結構改良、螺紋底孔精密擴孔加工及油酸蓖麻油煤油多組分切削液協同作用的低成本高效量產解決方案

TC4鈦合金M4小孔徑內螺紋攻絲量產瓶頸突破與全流程工藝優化研究——基于絲錐結構改良、螺紋底孔精密擴孔加工及油酸蓖麻油煤油多組分切削液協同作用的低成本高效量產解決方案

2026-02-26   瀏覽次數:325

鈦合金以其優異的力學性能、耐腐蝕性能、高比強度及良好的生物相容性,在航空航天、汽車制造、醫療器械等高新技術領域的應用日益廣泛。但該材料的獨特物理特性(如高硬度、低...
鋁合金微波殼體高磷化學鍍鎳槽液穩定性提升及封閉工藝優化研究——分析原有工藝槽液易分解的核心原因,采用RK-3188高磷化學鍍鎳體系結合堿性化學鍍鎳預處理,解決鍍層耐蝕性與漆膜結合力協同提升難題

鋁合金微波殼體高磷化學鍍鎳槽液穩定性提升及封閉工藝優化研究——分析原有工藝槽液易分解的核心原因,采用RK-3188高磷化學鍍鎳體系結合堿性化學鍍鎳預處理,解決鍍層耐蝕性與漆膜結合力協同提升難題

2026-02-18   瀏覽次數:218

鋁及鋁合金因其優異的比強度、導熱性和可加工性能,被廣泛應用于航空航天、電子通信及國防工業等領域[1-2]。此外,鋁合金的輕量化特性使其成為航天產品的微波器件殼體制造理想...
供需雙增背景下我國鎳礦選冶工藝技術現狀與升級路徑研究——系統梳理硫化銅鎳礦混合/優先/階段磨浮等浮選工藝,紅土鎳礦高壓酸浸/還原焙燒氨浸/RKEF等冶煉工藝及技術痛點

供需雙增背景下我國鎳礦選冶工藝技術現狀與升級路徑研究——系統梳理硫化銅鎳礦混合/優先/階段磨浮等浮選工藝,紅土鎳礦高壓酸浸/還原焙燒氨浸/RKEF等冶煉工藝及技術痛點

2026-02-09   瀏覽次數:192

1、引言鎳因其優異的機械強度、良好的延展性、高熔點、耐高溫特性以及出色的化學穩定性,在多個領域中得到廣泛應用。在軍工制造業中,鎳被用于飛機、雷達、導彈等關鍵設備的制...
基于硬度與導電率協同優化的鉻鋯銅合金制備工藝創新研究——探究微量元素摻雜冷變形量控制及復合熱處理對合金組織與使用性能的改進效果及工業化應用價值

基于硬度與導電率協同優化的鉻鋯銅合金制備工藝創新研究——探究微量元素摻雜冷變形量控制及復合熱處理對合金組織與使用性能的改進效果及工業化應用價值

2026-02-01   瀏覽次數:247

在現代工業中,銅合金應用廣泛。鉻鋯銅合金由于導電導熱性能良好,具有高的強度和好的耐磨性,可作為電阻焊電極和結晶器等材料。在汽車、機車、造船、電力及航空等行業得到廣泛...
高溫超導帶材帽子層鍍膜用智能走靶系統設計與應用研究——融合數控運動控制技術,優化X-Y-R三軸協同運動策略,提升氧化鈰靶材轟擊均勻性與系統可靠性,支撐超長帶材規模化生產

高溫超導帶材帽子層鍍膜用智能走靶系統設計與應用研究——融合數控運動控制技術,優化X-Y-R三軸協同運動策略,提升氧化鈰靶材轟擊均勻性與系統可靠性,支撐超長帶材規模化生產

2026-01-23   瀏覽次數:171

引言第二代高溫超導帶材為多層薄膜結構,由哈氏合金基帶、種子層、隔離層、帽子層(模板層)、超導層和保護層組成。目前已知的較為成熟的制備稀土鋇銅氧化物(ReBCO)帶材的方法...
面向高端裝備關鍵部件的TC11鈦合金熱處理技術創新:940-1000℃固溶+560℃時效工藝對合金微觀組織、拉伸性能優化及斷口失效機制的研究,填補單相區固溶處理技術空白

面向高端裝備關鍵部件的TC11鈦合金熱處理技術創新:940-1000℃固溶+560℃時效工藝對合金微觀組織、拉伸性能優化及斷口失效機制的研究,填補單相區固溶處理技術空白

2026-01-18   瀏覽次數:315

鈦及鈦合金具有低熱導率、低膨脹系數、高韌性以及耐低溫等優點,在低溫發動機、低溫超導零部件、海洋工程、 航空發動機等領域均有大量應用[1-2]。TC11鈦合金作為一種十分典型...
國產化突破視角下TFT-LCD用金屬濺射靶材市場深度研究——解析鋁/銅/鉬/鉬鈮合金靶品類差異與供應格局特征,量化8.5代線靶材消耗規模,剖析認證周期壁壘與國產企業突圍策略

國產化突破視角下TFT-LCD用金屬濺射靶材市場深度研究——解析鋁/銅/鉬/鉬鈮合金靶品類差異與供應格局特征,量化8.5代線靶材消耗規模,剖析認證周期壁壘與國產企業突圍策略

2026-01-13   瀏覽次數:303

薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)是當前的主流平面顯示技術,而金屬濺射靶材是制造TFT-LCD過程中最關鍵的材料之一。薄膜晶體管陣列的制作原理,是在真空條件下,利用離子束流去轟...
電子信息產業高質量發展需求下銅濺射靶材技術升級研究——涵蓋高純銅制備技術突破,大尺寸靶材成型工藝優化,高性能靶材微觀結構調控,系統展望行業發展方向與技術攻關重點

電子信息產業高質量發展需求下銅濺射靶材技術升級研究——涵蓋高純銅制備技術突破,大尺寸靶材成型工藝優化,高性能靶材微觀結構調控,系統展望行業發展方向與技術攻關重點

2026-01-08   瀏覽次數:220

濺射是一種薄膜材料制備技術,主要利用高能離子在真空中加速聚集形成高能離子束流轟擊固體,使固體表面原子逸出、沉積在基底表面,制成的膜材料稱作濺射靶材[1-2]。濺射技術源于1...
全產業鏈協同視角下半導體芯片與平板顯示用高端濺射靶材發展戰略研究——應用現狀剖析,核心技術瓶頸(高純提純/組織均勻性/智能檢測)突破與自主可控產業體系構建

全產業鏈協同視角下半導體芯片與平板顯示用高端濺射靶材發展戰略研究——應用現狀剖析,核心技術瓶頸(高純提純/組織均勻性/智能檢測)突破與自主可控產業體系構建

2026-01-03   瀏覽次數:313

引言磁控濺射靶材(簡稱濺射靶材)是物理氣相沉積(PVD)技術應用中的關鍵源材料,通過荷能粒子轟擊濺射靶材,可使靶材表面原子或分子逸出并在基片表面沉積形成功能性薄膜。高端濺...
面向半導體芯片互連工藝的銅錳合金靶材成分精準分析研究——GDMS/XRF/SEM-EDS多方法協同表征主成分(錳)分布及痕量雜質元素(Fe/Ni/Cr等)檢測與無標樣半定量可行性驗證

面向半導體芯片互連工藝的銅錳合金靶材成分精準分析研究——GDMS/XRF/SEM-EDS多方法協同表征主成分(錳)分布及痕量雜質元素(Fe/Ni/Cr等)檢測與無標樣半定量可行性驗證

2025-12-31   瀏覽次數:235

引言半導體芯片制造用金屬靶材主要用于在基底材料表面沉積金屬薄膜。在大規模集成電路互連工藝中,高純銅材料因其低電阻率、優異的導熱性能及良好的抗電遷移和抗應力遷移特性...
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